广东潽拓光电-广州tv550agilent分子泵硬件升级

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    2022-8-9

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目前,国内气冷式直排---罗茨泵进展很快,技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得平衡,所以这种泵可以直排---。为了满足不同---真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排---罗茨泵,所达到的---真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气冷式直排---罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。


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体安装注意事项

  、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。

  、打开泵高真空端法兰盖板,戴好手套,拨动涡轮转子,应转动灵活,无异常现象。

  、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。

  、确认防护网已安装,特殊情况下定做特殊防护网。

  、确认已装入润滑油。

  、安装方向:油绳润滑:竖直、水平;

   油润滑:竖直方向±5°范围内;

   脂润滑:任意角度






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分子泵市场

  分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。

  由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。





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油池安装注意事项  、拆油

  、油量控制

  、油池卫生,防颗粒

  、对好、对称上紧螺钉,防止有漏






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安捷伦分子泵采用的3级twisstorr 拖动级技术,通过分子泵旋转盘面,提高气体分子动能,从而有效提高抽速和---的压缩比。的拖动级技术与上一代设计相比,功耗降低了20%。安捷伦triscroll 和变频triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵,是目前市场上---真空度的干泵




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安捷伦agilent e8364b pna系列网络分析仪频率范围:10 mhz-50 ghz104 db 动态范围和 <0.006 db 迹线噪声<26 微秒/点测量速度,tv550agilent分子泵硬件升级,32 个通道,16,001 个点trm/lrm 校准可实现准确的晶圆上、夹具内、波导和天线测量混频器变频损耗、回波损耗、隔离度和群---放大器增益压缩、谐波、imd 和脉冲射频安捷伦e8364b矢量网络分析仪是pna系列网络分析仪平台的成员,并提供速度和精度的组合,为今天的高频率,的组件测试要求的苛刻需求。





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