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ulvac分子泵的特性：

-优xiu的防腐表面处理（不含3303跳频和6300fh）。可选的特殊表面处理

-可安装的在所有的方向

-内置监控/自我诊断和通信功能启用配置集中监控系统

-维护稳定的泵性能对改变背压（fh系列）

-可选的内部加热系统控制转子温度和减少粘连得副反应副产品（fw系列）

-安全设计与断裂能量吸收结构可以减少po坏这空系统当麻烦发生在泵

-高---性和---性高，通过实验实现了诸如空气涌入测试、各种接触下来测试强制po坏测试转子和异wu跌落测试

-变速系统标志着它可能改变抽运速率在响从25%通过100%

-没有---任何电源，结合泵主要单位改变电缆长度因为使用耦合自由系统和调优自由系统

-自我发电的可再生能源是用来备份电源断电时通过使用黄油免费系统。

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