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    2020-9-2

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广州潽拓光电——爱德华 aim-s-nw25

简单介绍:aim 有源倒磁控管真空计 edward* 有源倒磁控管真空计 (aim) 在一个紧凑的有源装置中包含规头和控制电路。从科学仪器到工业制程的多种应用场合,均已证明这些真空计坚固---。5mbar(带气镇分压强)sv200,sv300,sv500,sv630/b/bf,sv750/b,sv1200,sv1400的---真空度为<。 英国爱德华aim-s 有源倒磁控管真空计aim-s-nw25 d14641000 英国爱德华aim-s 有源倒磁控管真空计aim-s-nw25 d14641000详情介绍:英国爱德华aim-s 有源倒磁控管真空计aim-s-nw25 d14641000


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广州潽拓光电

boc stp-ixa3306cv涡轮分子泵维修,爱德华stp-ixa3306cv分子泵


boc stp-ixa3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内---的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 stpixa3305 系列的新技术)。

boc stp-ixa3306分子泵的高度等于 stp-xa2703/xa3203 的高度,也等于boc stp-ixa3305 系列(不带其电源供给 (ips-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可---降低驱动功率,从而可实现较高转速。

boc stp-ixa3306分子泵特性与优势:

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计,包括完全集成的控制器

---性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

boc stp-ixa3306分子泵用途:

溅射

离子注入源,射束线泵送和站

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、---物)

电子回旋共振 (ecr) 刻蚀

薄膜沉积 cvd、pecvd、ecrcvd、mocvd





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   灵活性同样很重要,潽拓普发分子泵维修周期,因为这些简单的维护可以由*终用户执行,或者由 edward* 现场维修---在现场执行,也可以将泵返回给 edward* 维修中心。

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