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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶σ-δ调制器组成,利用0.25umcmos技术制作成集成芯片,芯片有效面积约为2平方毫米,供电电压2.5v,功耗约为6mw。电路的灵敏度可以达到2.5v/pf,分辨率可达到4af。为满足不同应用的需求,pérezsanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。
可编程放大器提供了多个增益,使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号,同时为解调器提供时钟信号,这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外,该电路中采用了片上电容阵列,可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。
差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umcmos技术制造,供电电压为1.8v,能耗约为10mw。测试结果表明,电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化,灵敏度可达到0.3mv/ff,通过调节相关参数,灵敏度可达到1mv/ff。awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。
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如果用i20r表示一定量的固体热传导和热辐射,则式(4-6)可以表示为i0是灯丝的电流,不断弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。a是不依存压强的常数。如果已知灯丝的电阻r、电流i0及常数a,则可以通过式(4-10)求得压强p。热电偶真空计的压强测量范围在0.1~300pa,具有以下优点:(1)结构简单、容易制造、容易操作;
工作温度、工作电压较低;(3)所测读数为全压强,并且能够实现远距离的连续测量。但是,热电偶真空计具有受温度影响大、读数时间滞后、读数因气体种类而异、读数需要校准等缺点。热偶真空计工作特性 热偶真空计是相对真空计,其压力-热偶电势对应值难以用计算方法准确求得,因此,常常在标准环境条件下,用真空计或用校准系统经校准确定。
在一定的加热电流条件下,配用dl-3型规管的热偶真空计对干燥空气的校准曲线如图4-9和图4-10所示。图4-9dl-3型热偶真空计的校准曲线(10~10-1pa)图4-10dl-3型热偶真空计的校准曲线(102~10pa)由图4-10不难看出,当压力从0.1mpa开始逐步降低(图中未画出)的一段压力范围内,热偶电势e一直在零值附近,瑞士英福康真空计维修,其原因是气体分子多,传导走的热量多,因而热丝温度低,热偶电势e亦低,而且此时(λ≤r1)热传导与压力无关,故热偶电势e不变化(少量变化是气体对流引起的)。
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为解决持续变动的市场的需求,该系列产品非常近新增加了大量选零配件。先前,该系列产品真空泵规仅配置rs-485插口,茂名英福康真空计,而如今,还装有工业生产千兆以太网profinet和ethercat。与传统式计算机接口对比,他们具备数据信息传输速度---、连接机器设备显着大量的优势,因此可以协助公司加快完成工业生产4.0总体目标。profinet和ethercat插口除此之外,除开先前选用模拟输出的版本号,现还装有电容传感器真空泵规cct。
该真空计有着不会受到汽体类型危害和测量精度高的优点,并可用以表层的镀膜全过程的准确过程控制、低温干燥或校正试验室。电容传感器真空泵规cct---的瓷器技术性元器件具备---的有机化学耐心和非常低的零点误差。现阶段,有温度补偿型和45℃加温型二种规格型号可挑选 。
电容传感器真空泵规cct超滤装置或是机械泵调节时常常必须查询机械泵的真空值,每一个调试---都期待有一款便携式精巧而且结实---的真空计。为达到这类要求,inficon公布了一款携带式的真空计套服inficon。现阶段正限营销,价税合计5000元套。套服包含:数字万用表尺寸的便携式控制板,根据可伸缩式铜线联接的真空泵规管,也有便捷带上的迷你型行里箱。
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