edwards进口分子泵地址

潽拓——edwards进口分子泵地址，分子泵

广州潽拓维修分子泵，爱德华edwards ext 75dx iso100复合泵维修保养

性能特点

兼容tic涡轮仪表控制器。

多种通讯模式。

并口，用于传统控制信号接口。

串口，用于rs-232接口。

通过rs-232接口，用户可以设置各种参数rs-232。

正常泵速显示。

准备转速显示。

泵温。

增强型泵速、功耗、温度监测。

广州潽拓——edwards进口分子泵地址}，分子泵

     edwards epx180l 半导体干式真空泵 epx180l维修

爱德华epx 180真空干泵

       edwards epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 holweck® 分级机构，能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5kg。