南沙区ulvac分子泵维修说明「多图」

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在纯粹涡轮分子泵的情况下，由于其分子流，需要的前级真空大约为为 5～10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽，如果不预抽的话，直接启动分子泵， 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏，ulvac分子泵维修说明，这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。

隔膜泵作为前级泵的优势

1.外观小巧精致，重量小;

2.表面光滑容易清洁;

3.运行异常安静且振动低;

4.根据客户需要，干式隔膜泵可供选择的---真空和抽气速度;

5.隔膜---，高弹性的纤维增强型fkm隔膜（化学隔膜泵，耐腐蚀的ptfe三明治夹层结构隔膜）;

6.内部气路连接件漏率低，长久运行依然能保持优异的真空性能。

螺杆泵作为前级泵的优势

1.100%无油；

2.无易损件；

3.无磨损；

4.抽速大可达10 m3/h，---真空低至0.005 mbar；

5.一键启动，长期7×24 h稳定运行，维护成本低，无烦恼。

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典型涡轮分子泵抽气系统涡轮分子泵抽气系统一般不需要用常见的液氮冷阱来阻止轴承润滑油或机械泵泵液的返流只要泵是以额定角速度旋转，那么泵对除很轻的气体氢以外的所有气体都具有比较高的压缩比，---阻止这些气体从前级管道端返流到高真空端液氮冷却的表面不能捕集因压缩比低而返流到真空室的少量的氢液氮冷阱可用来提高系统对水蒸气的抽速，

其---的安装位置是在高真空阀的后面，也就是直接设置在涡轮分子泵的喉部上方还可以考虑在高真空阀后面装一个三通管，把涡轮分子泵接在它的一个接口上，而把液氮冷却的表面接在另一个接口上而三通的任何两个接口之间的流导都要小于液氮冷阱的通导然而要使分子泵对水蒸气和空气都具有很大抽速，很佳的安排还是将液氮冷阱安装在涡轮分子泵和高真空阀门之间。

涡轮分子泵抽气系统既不需要用粗抽阱也不需要用前级管道冷阱粗抽与主抽系统之间较高的切换压力能防止机械泵油通过粗抽管道迁移到真空室中去，而泵对碳氢化物馏分的高压缩比也阻止它们从前级管道通过泵反扩散到真空室中去。

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