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dl-10a的校准曲线如下所示:▲dl-10a校准曲线横坐标是计量院科学院测量标准值,气样是氮气。纵坐标是dl-10a显示值。dl-10a的下限决定于z0随时间漂移带来的误差。它主要决定于晶振的结构以及环境温度的变化。part 02石英真空计性能
●石英真空计的精度较高,用音叉结构的晶振安装在稳定温度的金属柱上,在0.01pa~105pa之间测量误差为±10%。在真空计上限附近,即接近---压经过调整后误差较小可做到3%。随着压强的减小,误差会增大。在真空计的下限误差较大。
▲dl-10a在计量科学院校准氮气结果
●石英真空计读数与气体种类有关,不同气体的相对压强读数也不同。下图采用的基准气体为氮气,测量不同气体时,应对该气体进行修正。▲不同气体的压强读数
●环境温度的变化会影响石英真空计的读数,在高压强不会引起很大误差,但在接近下限,会引起很大的误差。这主要体现在晶体的固有阻抗z0随温度变化。
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真空计的校准
现如今,真空在大家日常生活中被广泛运用于---商品的生产制造及制造,而且起着关键人物角色。例如:在科学研究,工业生产步骤,手机处理器,电脑硬盘,太阳能充电电池,塑胶干躁或是食品类真空包裝等行业。在如今的制造运动中,大家对真空度测量的性、规范化、稳定性和重复的标准是---重要的。在我们在开展测量的情况下,高精密又是重要中的关键:
精密度的大小会立即影响到设备的制造品质,科学试验的性和设施运用的稳定性。要---真空计应用时的---性高,就务必常常对它开展校准或校准。而依据每一个不一样运用的主要规定,这种校准工作中务必合乎或相应的国际性的规范。经济发展、合理、、化的组织校准及校准取代解决方法;生产制造运动中,英福康真空计保养售后,真空计通常必须对外开放主管---开展校准和校准。
校准规定
在开展校准前,务必达到如下所示标准:
***系统软件限工作压力ρe务必超出不大校准工作压力ρmin的50倍
(ρe≤ρmin/50)
***工作温度务必稳定(±1°c)
***校准系统软件务必热平稳
***规范真空计和别的真空计在检测时真空度务必平稳
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静电力平衡式微电容测量法适用于静电力平衡式inficon电容薄膜真空计,电路为闭环结构,包括微电容测量电路和静电力控制回路,其中静电力控制回路用来产生平衡感压薄膜的静电力,对系统的测量性能有着---的影响,该方法在---真空计高准确度测量的同时还能拓宽其动态测量范围。
inficon电容薄膜真空计用于真空测量,要求在较宽的压力测量范围内能测得较小的压力变化量,同时需要满足深空探测、临近空间探测以及空气动力学实验等活动中测量仪器小型化的要求,所以测量电路应该在满足测量要求的前提下尽可能实现集成化、小型化、功耗低。因此,针对不同电极结构的inficon电容薄膜真空计微电容测量电路应朝着易于集成、小型化的方向发展。
由于基于开关电容法的微电容测量电路易于集成,而静电平衡结构的微电容测量法有拓宽动态测量范围的优势,因此基于两者结合的微电容测量电路有望实现对inficon电容薄膜真空计整体测量性能的提升。另外,随着---以及物联网的发展,inficon电容薄膜真空计的应用范围已经从航空航天等领域向大众化领域拓展,这使得其需求量变大,种类更多,考虑到市场的研发时间成本,研发和设计能满足不同类型的inficon电容薄膜真空计的电路是接下来inficon电容薄膜真空计微小电容测量电路的主要发展方向。
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