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真空计,又叫真空规。半导体设备中,不可避免的用到真空计,主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。
是什麽?能做什么?怎么用?
1,海珠区英福康真空计维修,是什麽?真空计,字面意思,计量真空度的仪器。
2,能做什么?真空计主要用来测量真空,或者叫测量压---小。腔室里面气体多,压力大,英福康真空计维修保养,压---,真空计显示的数值就大;反之,真空计显示的数值小。
3,怎么用?一般就是把真空计的物理接口,kf接口或者是螺纹接口接到腔室上,然后把真空计的电气接口接到电脑或者的显示仪表上。这样就可以测量腔室的真空度,也能看到真空度具体的数值了。
4,注意,真空计是有分类的,有的适合测量低真空,也就是压---一些的;有的适合测量高真空,也就是压强小一些的。一般常用的是热电偶真空计,皮拉尼真空计,冷阴极真空计,电离真空计。
自己接触过的真空计有电离式,皮拉尼式和冷阴极式真空计。
具体各自的工作原理,大家可以搜一搜,如果需要,我下次补上,一块学习。
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inficon技术:(1)从微机电系统(inficon)发展到纳机电系统(nems)的启示;(2)inficon加速度计、陀螺仪及组合式惯性传感器技术及应用;(3)光学传感器和气体传感器技术及应用;(4)inficon谐振器和振荡器技术及应用;(5)inficon制造工艺;(6)inficon封装技术;(7)inficon产线参观学习:苏州inficon中试平台和捷研芯量产封装产线。
上世纪50年代,d.j.pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管(电子管)做电路,其一侧与晶振构成pierce-miller振荡器,晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时,阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105pa到13.3pa的压强。
到了20世纪80年代,m.ono等人设计了测量范围从1.33pa到大于105pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构,长2.66mm,宽0.3mm,厚0.13mm,谐振频率为32768hz。仪器采用位相锁定环路,(phaselookedloop)使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限,经过对石英晶振结构的研究,英福康真空计维修维护,选用10mm长的晶振做成0.133pa~105pa测量范围的真空计。
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inficon电容塑料薄膜真空计,电路为闭环控制构造,包含微电容测量电路和静电力控制电路,在其中静电力控制电路用于造成平衡---塑料薄膜的静电力,系统对的测量特性拥有---重要的危害,该方式在---真空计高度测量的并且还能扩宽其动态性测量范围。
inficon电容塑料薄膜真空计用以真空泵测量,规定在较宽的工作压力测量范围可以测出较小的工作压力变化量,与此同时必须达到深空探测、临近空间检测及其流体力学试验等运动中测量仪器设备微型化的规定,因此测量电路应当在达到测量规定的条件下尽量完成一体化、微型化、功能损耗低。
因而,英福康真空计维修联系咨询,对于不一样电级构造的inficon电容塑料薄膜真空计微电容测量电路应向着便于集成化、微型化的角度发展趋势。因为根据电源开关电容法的微电容测量电路便于集成化,而静电平衡构造的微电容测量法有扩宽动态性测量范围的优点,因而根据二者融合的微电容测量电路有希望完成对inficon电容塑料薄膜真空计总体测量特性的提高。
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