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广州潽拓——维修pfeiffer duo 3

双级旋片泵 duo 2.5/duo 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 ---压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行

润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，

在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙，此外还通过热传递---温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对---的---压力。

此外，气镇对---压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它

稍作---就打开。

   广州潽拓光电科技有限---于2016年07月29日，自成立以来，---于分子泵，真空领域技术服务。在科学研究和技术服务业不断潜心研究，不断进取，完善内部制度。经过不断的努力，使其有着融洽和谐的工作环境、积极进取，秉承着为核，增城进口普发分子泵，技术为本的研发理念，并向着国---级技术的目标迈进。进口普发分子泵进口普发分子泵进口普发分子泵 

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分子泵的清洗：

   一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在固定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其他的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵已经有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下:

1.关掉分子泵，进行排气

2.从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。

3.拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等

4.拆掉润滑的油包

5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个合适的容器中

广州潽拓光电科技有限公司 德国pfeiffer普发分子泵维修图

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