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不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。10～10-1pa量程：规管须垂直倒置，在真空度优于10-2pa时调定加热电流(此时热电势为10mv，即满刻度)，其加热电流可调节范围为95～150ma。102～10pa量程：规管须垂直倒置，在0.1mpa时调定加热电流，其加热电流可调节范围为175～300ma或以上。

热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些，但p-e校准曲线受外界温度的影响较小。 mems传感器具有小型化、低成本、、易与cmos集成电路兼容等特点。在不同类型的mems传感器中， 很普遍、应用 很广泛的是压阻式和电容式传感器。与压阻式传感器相比，电容式传感器具有灵敏度高、温度系数低、功耗低等优点。

mems电容薄膜真空计作为mems电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。mems电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。mems电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。

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真空检漏的实际意义？答：真空系统软件的限真空决策于系统软件的抽速和漏汽量，故在抽速一定时，漏气量就选择了真空度，欲使系统软件实现设定的限真空，务必根据检漏和补漏使体系的漏汽量---在容许漏率范畴内。

从基本原理上讲，真空检漏可分成哪两类？答：可以分成：1）工作压力检漏法，包含打气检漏法，英福康bpg400真空计多少钱，卤素灯泡检漏法，氨检漏法。2）真空检漏法，包含高频率火苗检漏法，真空计检漏法，质谱仪检漏法。

概述真空泵的抽真空基本原理。答：1）利用缩小功效将汽体清除到泵外。a.机械设备周期时间式胀大缩小，b.蒸气流黏滞牵引带缩小，c.刚度表层的牵引带缩小。2）利用吸咐功效将汽体拘束于泵内。a.利用水解呼吸功效，b.利用物理学吸咐和有机化学吸咐功效。

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