




广州潽拓光电科技有限公司--ulvacnrl180a干式真空泵保养维修;
脉冲激光沉积系统pld客户案例:某大学电信系脉冲激光沉积系统
1.系统功能:主要用于mn氧化物等复杂材料膜。
2.涡轮分子泵真空度要求:真空度
3.样品尺寸:6英寸
4.基片旋转,加热温度:750℃
5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式
真空系统配置:真空系统配置:涡轮分子泵400
接口:dn100cf-f
---真空:
氮气压缩比:>;1x1011涡轮分子泵80
接口:dn63cf-f
---真空:
氮气压缩比:>;1x1011隔膜泵mvp040
口径:g1/4”
---真空:≦5mbar
抽速:2.3m3/h
涡轮分子泵抽速范围10至2700l/s,转速---90,000rpm,---真空很大1e-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,ulvacnrl180a干式真空泵保养,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>;>;
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作为输送腐蚀性料浆,其结构特点是在泵的磨损---的前后泵盖部位,在高分子塑料的基体上,镶嵌耐磨性的陶瓷,耐温耐磨损性能好密封---拆装方便维修运行成本低等---优点。螺杆式冷水机可配套真空设备运用,此类螺杆式冷水机也契合品---真空设备的需求,如分子泵、小型真空镀膜机等,螺杆式冷水机运用在配套激光设备,此类螺杆式冷水机特有的水质处置特色,使其变成激光设备配套的抱负挑选配套试验室设备,
这类型螺杆式冷水机特有的水质净化系统,能够过滤固体颗粒物、选配去离子设备、检测设备等。---听在很多,但是具体是什么,可能许多还不是很清楚,百科中找到在“---”,解释为一个网络流行词,指某些利用网络工具,泵---人进行---肯投资,一种不用见面在新型网络方式。真空泵是以爱发科在真空领域丰富的技术和经验为基础开发的。
我们有涡轮分子泵、低温泵、溅射离子泵等适用于所有领域·条件·用途的真空泵系列产品。以下介绍一下爱发科的低温泵。关于低温泵:低温泵是储存式真空泵,泵内设有极低温面,可以通过冷凝和吸附来气体,以实现真空的状态。另外,由于可以获得没有油污染的清洁真空,并且具有比其他真空泵更高的排气速度而---瞩目。半导体、fpd、电子机器、光学、等领域都会用到低温泵技术。
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随着真空泵使用范围越来越广,了解其相关参数对于之后的生产工作的展开十分重要。1、抽气速率(体积流率):当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩上位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下,真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。
---压力(---真空):泵装有标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的比较低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的比较低的稳定的压力。 3、起动压力: 泵无损坏起动并有抽气作用的压力 4、前级压力: 排气压力低于一个---压力的真空泵的出口压力。 5、比较大前级压力: 超过了能使泵损坏的前级压力。
比较大工作压力:对应比较大抽气量的入口压力。在此压力下,泵能连续工作而不恶化或损坏。 抽气量: 流经泵入口的气体流量。 压缩比: 泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。分子真空泵主要是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使气体分子获得定向运动的速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵牵引分子真空泵,气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
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