南沙区英福康真空泵修理价格服务-潽拓光电

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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶σ-δ调制器组成，利用0.25umcmos技术制作成集成芯片，芯片有效面积约为2平方毫米，供电电压2.5v，功耗约为6mw。电路的灵敏度可以达到2.5v/pf，分辨率可达到4af。为满足不同应用的需求，pérezsanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号，同时为解调器提供时钟信号，这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外，该电路中采用了片上电容阵列，可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umcmos技术制造，供电电压为1.8v，能耗约为10mw。测试结果表明，电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化，灵敏度可达到0.3mv/ff，通过调节相关参数，灵敏度可达到1mv/ff。awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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如果用i20r表示一定量的固体热传导和热辐射，则式(4-6)可以表示为i0是灯丝的电流，不断弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。a是不依存压强的常数。如果已知灯丝的电阻r、电流i0及常数a，则可以通过式(4-10)求得压强p。热电偶真空计的压强测量范围在0.1～300pa，具有以下优点：(1)结构简单、容易制造、容易操作；

工作温度、工作电压较低；(3)所测读数为全压强，并且能够实现远距离的连续测量。但是，热电偶真空计具有受温度影响大、读数时间滞后、读数因气体种类而异、读数需要校准等缺点。热偶真空计工作特性   热偶真空计是相对真空计，其压力-热偶电势对应值难以用计算方法准确求得，因此，常常在标准环境条件下，用真空计或用校准系统经校准确定。

在一定的加热电流条件下，配用dl-3型规管的热偶真空计对干燥空气的校准曲线如图4-9和图4-10所示。图4-9dl-3型热偶真空计的校准曲线(10～10-1pa)图4-10dl-3型热偶真空计的校准曲线(102～10pa)由图4-10不难看出，当压力从0.1mpa开始逐步降低(图中未画出)的一段压力范围内，热偶电势e一直在零值附近，其原因是气体分子多，传导走的热量多，因而热丝温度低，热偶电势e亦低，而且此时(λ≤r1)热传导与压力无关，故热偶电势e不变化(少量变化是气体对流引起的)。

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