英福康真空泵现场维修-从化英福康真空泵-潽拓光电

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    2023-9-20

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国内在90年代也有人研制了石英真空计,所用电路是以晶振本身为频率控制元件的自振荡,自---电路。测量范围为0.1pa~2×105pa。 很近我们研制的dl-10a型石英真空计采用fc135晶振,测量范围为5×10-1~105pa。目前已有石英真空计产品,




例如:cc-10真空计测量范围是1.33×10-2pa到---压,m-320xg晶振真空计测量范围是1x10-1pa到---压,dl-10a型石英真空计测量范围是5x10-1pa到---压。其优点为:传感器体积小,耗电功率小(约1w),精度较高(约10%),量程较宽(10-1~105pa)等。




part 01工作原理

石英晶振在谐振时,其谐振频率或谐振阻抗均与周围气体压强有关,二者均可用来测量压强。用谐振频率与压强有关的特性做真空计精度高,但测量范围较窄,它可以用作标准真空计或应用于要---度高的真空测量领域。用谐振阻抗与压强有关的真空计测量范围较宽,可达0.1-105pa,适合做工作用真空计。晶振在谐振时,英福康真空泵现场维修,同时自身也存在机械振动,振动时将受气体阻力,阻力的大小与气体压强有关,因而晶振的电学阻抗也与气体压强有关。

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回顾便携式真空计校准装置的研发历程,为了---校准装置的灵活使用,以实现在线校准的初心为牵引,真空事业部产品研发人员在前期技术积累基础上,开展集智攻关,突破了众多技术难关。为了满足不同空间、不同环境的灵活使用,要---“尺子”体积足够小、方便携带。




研发人员采用模块化、集成化设计,通过机械设计和硬件结构的不断升级,相较于初代产品结构紧凑,使用更为方便;设计为箱体式结构,---地保护装置本体和标准器,英福康真空泵维修中心,实现长途携带,便于在实验室和现场校准使用。目前,很新代该装置体积约500mm×500mm×850mm。




▲科研人员使用便携式真空计校准装置

第二为了使装置功能强,能够校准不同种类的真空计,要---装置量程足够宽、精度高。研发人员采用多种计量方法,将静态比较法、动态比较法、动态流量法等集成在一起。由于各种方法的原理、结构均不相同,英福康真空泵修理,甚至可能相互干涉,研发人员不断反复地进行迭代试验,---性地将它们设计组合在一起,实现宽量程、---的校准。


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真空计的分类及原理

真空计(vacuumgauge),从化英福康真空泵,又称真空规,是测量真空度或气压的仪器。一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能,利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空计。




利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(bourdon)和薄膜电容规;利用气体力学效应的典型真空计有皮拉尼(pirani)电阻规和电热偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

1、波尔登规(bourdon)2、薄膜电容规3、皮拉尼规4、热电偶规5、热阴极电离规6、冷阴极电离规




真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示,气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。


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