花都区inficon英福康真空计保养配件-潽拓光电(商家)

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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶σ-δ调制器组成，利用0.25umcmos技术制作成集成芯片，芯片有效面积约为2平方毫米，供电电压2.5v，功耗约为6mw。电路的灵敏度可以达到2.5v/pf，分辨率可达到4af。为满足不同应用的需求，pérezsanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益，inficon英福康真空计保养配件，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号，同时为解调器提供时钟信号，这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外，该电路中采用了片上电容阵列，可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umcmos技术制造，供电电压为1.8v，能耗约为10mw。测试结果表明，电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化，灵敏度可达到0.3mv/ff，通过调节相关参数，灵敏度可达到1mv/ff。awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。

2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压---小。腔室里面气体多，压力大，压---，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

3，怎么用？一般就是把真空计的物理接口，kf接口或者是螺纹接口接到腔室上，然后把真空计的电气接口接到电脑或者的显示仪表上。这样就可以测量腔室的真空度，也能看到真空度具体的数值了。

4，注意，真空计是有分类的，有的适合测量低真空，也就是压---一些的；有的适合测量高真空，也就是压强小一些的。一般常用的是热电偶真空计，皮拉尼真空计，冷阴极真空计，电离真空计。

自己接触过的真空计有电离式，皮拉尼式和冷阴极式真空计。

具体各自的工作原理，大家可以搜一搜，如果需要，我下次补上，一块学习。

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