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辅助泵的容量是3000l/min情况下的*大容许流量[ 使用环境温度]---压力---环境温度是10～23℃。另外，大阪磁悬浮分子泵tgkine2200m，容许环境温度是10～40℃。---压力---冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。[ 对应气体种类 ]由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化

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