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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法，该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术，只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制，然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号， 很后用峰值检测方法对信号进行解调，得到直流输出。测试结果表明，该测量电路具有---的线性，测量精度可以达到2%，英福康真空泵维修中心，灵敏度可以达到3.6v/pf。但该电路不易于小型化集成。

图2基于峰值检测的微电容测量电路框图wang等设计了一种具有宽温度范围的基于cmos的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法，vref为输入参考电压，时钟信号φ1、φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容ch1、ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。

电路采用结构简单、性能稳定的二阶σ-δ调制器来实现高的分辨率，其中电容c3=2c4。测量过程分为两个阶段，当信号cal置“0”时，电路处于正常工作状态，输出为y；当信号cal置“1”时，电路处于校准状态，英福康真空泵现场维修，c1和c2位置互换，此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声，两者相减即可消除这些噪声。

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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶σ-δ调制器组成，利用0.25umcmos技术制作成集成芯片，芯片有效面积约为2平方毫米，供电电压2.5v，功耗约为6mw。电路的灵敏度可以达到2.5v/pf，分辨率可达到4af。为满足不同应用的需求，pérezsanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益，英福康真空泵修复，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号，同时为解调器提供时钟信号，这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外，该电路中采用了片上电容阵列，阳江英福康真空泵，可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umcmos技术制造，供电电压为1.8v，能耗约为10mw。测试结果表明，电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化，灵敏度可达到0.3mv/ff，通过调节相关参数，灵敏度可达到1mv/ff。awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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