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真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示，气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。

热电偶真空计的构造图金属圆筒内部设有一根灯丝，两端连接电极，通电后灯丝会---。灯丝的热量会通过气体分子碰撞灯丝、热辐射和固体热传导等方式被夺走。设单位时间内以上述三种方式夺走的热量分别为qg、qr、qs，则平衡状态下以下公式成立：式中q———单位时间灯丝放出的热量；r———灯丝的电阻；i———灯丝的电流。

气体的平均自由程比灯丝的直径大很多时，qg通过自由分子的热传导被表示为式中α———适当常数；λ———分子的热传导率；d———灯丝直径；a———灯丝长度；t———灯丝温度；t0———金属圆筒的温度；p———气体压强。qs和qr可以分别表示为式(4-8)代表电极的热传导，其中s是灯丝的断面积，κ是固体的热传导率，l是电极的长度。式(4-9)代表热辐射，σ和ε分别是玻尔兹曼常数和固体辐射率。如果保持t和t0一定，则式(4-8)和式(4-9)为常数。

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空检漏的意义？

答：真空系统的---真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的---真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？答：可以分为：1）压力检漏法，inficon检漏仪技术升级，包括充气检漏法，卤素检漏法，氨检漏法。2）真空检漏法，包括高频火花检漏法，真空计检漏法，质谱仪检漏法。

简述真空泵的抽气原理？答：1）利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩，b.蒸汽流粘滞牵引压缩，c.刚性表面的牵引压缩。2）利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用，b.利用物理吸附和化学吸附作用。

真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？1，inficon检漏仪维修公司，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压---小。腔室里面气体多，压力大，压---，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

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