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复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内((10-6~1pa)具有较大的抽速和较高的压缩比,---提高了泵的出口压力。法国alcatle公司生产的一种采用气体静ya轴承和动密封的复合分子泵,可以做到完全无油,且不用前级泵直接向---中排气。 磁悬浮涡轮分子泵维修
涡轮分子泵维修,复合分子泵维修,磁悬浮分子泵维修是项非常细致的工作,同时必须借助专门的分子泵维修和检测设备。震动频谱分析仪就是涡轮分子泵维修的---设备之一。 磁悬浮涡轮分子泵维修
多年来,---气泄漏检测已经成为各种应用领域测试气密性的方法。 与其他气密性测试方法相比,它的高灵敏度、测量的---性以及易 重复性是*有力的优势。 对于检测测试气体,真空提供基于质谱原理的检漏仪。质谱仪 对混合气体进行电离,并在其质荷比的基础---离出所需的示踪气 体。由于质谱仪的低检测限,真空检漏仪的高灵敏度得以保 证。 磁悬浮涡轮分子泵维修
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旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。真空泵养护维修
旋片式真空泵是真空技术中zui基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构---两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。真空泵养护维修
真空泵高温的益处
(1)由于轴流风机转速高,风压风量大,冷却效果---增强,在相同的环境温度、负荷电流下,真空泵主电机温度下降了12℃。夏季主电机温度未再超限。
(2)减缓了主电机的绝缘老化速度,延长了其使用寿命。
(3)轴流风机可人为控制,主电机停运后,轴流风机仍可运行,可以使主电机得到充分冷却。
(4)电压调整后,湛江alcatel真空泵,隔膜泵运行电流降为210a,---量相对减小。
(5)尽量使2段母线负荷分配平衡,以防某段母线因负荷过重造成电压下降过多。真空泵养护维修
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含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备,在集成电路刻蚀等工艺过程中,部分工艺气体容易冷却凝结,附着在分子泵转子及内壁,造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞,影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度,降低工艺气体凝结,alcatel真空泵维修服务,提高分子泵稳定性及寿命。 磁悬浮涡轮分子泵维修
我们所称呼的“质谱仪单元”是---气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击,alcatel真空泵维修维护,它会从电子层脱出。结 果,带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修
分子泵的工作区间是有---的,alcatel真空泵维护,*大启动压强也要在100pa,直接---启动只会长期处于过载状态运行,并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修
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