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涡轮分子泵只有在通过其的气流是自由分子流时 才能工作。换句---，气体压力必须足够低，以使分子撞击周围表面的频率比分子间的碰撞的频率频繁。因此，该泵仅在使用粗抽泵将压力降低到约 0.1pa 之后才能实现超真空条件。

 shimadzu tmp-203lm/lmc岛津磁悬浮分子泵维修，日本岛津tmp-203lm/lmc/tmp-203m/mc磁悬浮涡轮分子泵进气法兰口vg100/icf152/iso100b/iso100c，出气法兰口kf25，抽速可达到190 l/s，转速为50000 rpm，---压力1 x 10-10 torr(1.3 x 10-10 mbar)，岛津tmp-203m/mc磁悬浮分子泵对应的控制器为：shimadzu ei-d203m

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日本岛津shimadzu ei-3003m控制器，潽拓维修shimadzu分子泵

岛津分子泵控制器、电源、驱动器维修的部分型号：  

ei-r/s/m系列：

ei-r04m、ei-s04mel/pti 系列el-203、el-303、el-403、pti-1500

ei-d/m系列：

ei-d203m、ei-d303m、ei-d1003m、ei-d1103m、ei-d1303m、ei-d2003m、ei-d2203m、ei-d3153m、ei-d3203m、ei-d3403m、ei-d3603m、ei-d4203m

ei-m/md/me/mt系列：

ei-203m、ei-203md、ei-280、ei-281、ei-303m、ei-1003m、ei-1303md、ei-1500、ei-2001、ei-2001me、ei-2003m、ei-3003m、ei-3203md、ei-3403md、ei-4203mz 、ei-4203mt