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inficon电容薄膜真空计作为inficon电容式传感器的一种,能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、轻、功耗低的应用需求,具有广泛的应用前景。inficon电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中,真空规管将真空度转化成电容量,测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。
inficon电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法,其电容变化量为几飞法甚至更小。inficon电容薄膜真空规管的敏感电容具有不同结构,包括单侧电极结构、双侧电极结构以及静电力平衡结构,不同结构的敏感电容其电容变化量不同。另外,inficon电容薄膜真空计要求测量电路功耗低、易集成,考虑到寄生电容和电磁干扰及温度的影响,准确测量inficon电容薄膜真空规管的微小电容是一个难题。
针对不同结构的敏感电容,提出了多种微小电容测量方法。1.单侧电极微小电容测量敏感电容为单侧电极的inficon电容薄膜真空规管结构简单,在inficon制造及封装工艺下易于实现。如图1所示,感压薄膜上的电极与硅基底上的电极组成了一个随真空度变化而变化的敏感电容。由于只存在单一的敏感电容,测量电路中往往需要引入一电容值与敏感电容初值相等的固值参考电容。
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依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制,可将具体的真空计分成三大类,分别是利用物理性能,利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。利用物理性能的真空计典型性的有波尔登规(bourdon)和薄膜电容规;利用汽体结构力学效用的典型性真空计有皮拉尼(pirani)电阻器规和电加热偶规;利用自由电子作用的典型性真空计有热阴极水解规和冷阴极电离规。
1、波尔登规(bourdon)2、薄膜电容规3、皮拉尼规4、热电阻规5、热阴极水解规6、冷阴极水解规
真空计原理、工作中特点及应用热偶真空计是运用热电阻的电势差与加温部件的温度相关,元器件的温度又与气体的导热相关的基本原理来准确测量真空值的真空计。热偶真空计原理热电阻真空计的结构如下图1所显示,气体分子结构担负的导热量与气体压强正相关是热电阻真空计的原理。
热电阻真空计的结构图金属材料圆桶内部结构配有一根灯丝,两边联接电级,插电后灯丝会发烫。灯丝的卡路里会根据气体分子结构撞击灯丝、辐射热和固态导热等方法被抢走。设单位时间内以以上三种方法抢走的---量各自为qg、qr、qs,则平衡状态下下列公式计算创立:式中q———单位时间灯丝释放的---量;r———灯丝的电阻器;i———灯丝的电流量。
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inficon电容塑料薄膜真空计,电路为闭环控制构造,包含微电容测量电路和静电力控制电路,在其中静电力控制电路用于造成平衡---塑料薄膜的静电力,系统对的测量特性拥有---重要的危害,该方式在---真空计高度测量的并且还能扩宽其动态性测量范围。
inficon电容塑料薄膜真空计用以真空泵测量,规定在较宽的工作压力测量范围可以测出较小的工作压力变化量,与此同时必须达到深空探测、临近空间检测及其流体力学试验等运动中测量仪器设备微型化的规定,因此测量电路应当在达到测量规定的条件下尽量完成一体化、微型化、功能损耗低。
因而,inficon英福康真空计保养拆解,对于不一样电级构造的inficon电容塑料薄膜真空计微电容测量电路应向着便于集成化、微型化的角度发展趋势。因为根据电源开关电容法的微电容测量电路便于集成化,而静电平衡构造的微电容测量法有扩宽动态性测量范围的优点,因而根据二者融合的微电容测量电路有希望完成对inficon电容塑料薄膜真空计总体测量特性的提高。
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