东莞inficon英福康真空计保养咨询-广州潽拓光电科技

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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶σ-δ调制器组成，利用0.25umcmos技术制作成集成芯片，芯片有效面积约为2平方毫米，供电电压2.5v，功耗约为6mw。电路的灵敏度可以达到2.5v/pf，分辨率可达到4af。为满足不同应用的需求，pérezsanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号，同时为解调器提供时钟信号，这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外，该电路中采用了片上电容阵列，可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umcmos技术制造，供电电压为1.8v，能耗约为10mw。测试结果表明，电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化，灵敏度可达到0.3mv/ff，通过调节相关参数，灵敏度可达到1mv/ff。awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示，气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。

热电偶真空计的构造图金属圆筒内部设有一根灯丝，两端连接电极，通电后灯丝会---。灯丝的热量会通过气体分子碰撞灯丝、热辐射和固体热传导等方式被夺走。设单位时间内以上述三种方式夺走的热量分别为qg、qr、qs，则平衡状态下以下公式成立：式中q———单位时间灯丝放出的热量；r———灯丝的电阻；i———灯丝的电流。

气体的平均自由程比灯丝的直径大很多时，qg通过自由分子的热传导被表示为式中α———适当常数；λ———分子的热传导率；d———灯丝直径；a———灯丝长度；t———灯丝温度；t0———金属圆筒的温度；p———气体压强。qs和qr可以分别表示为式(4-8)代表电极的热传导，其中s是灯丝的断面积，κ是固体的热传导率，l是电极的长度。式(4-9)代表热辐射，σ和ε分别是玻尔兹曼常数和固体辐射率。如果保持t和t0一定，则式(4-8)和式(4-9)为常数。

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