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涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快，有机蒸汽污染少和---真空---特点.因此在---质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统，即使检漏仪不用液氮冷阱，质谱室也不致---沾污，并能保持较低的本底或杂声.这有利于---质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高，并且延长离子源的使用寿命.

---质谱检漏仪范围很宽，不仅可检测---气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。---质谱检漏仪中没有手动阀，现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵，以消除可能造成的油返流。计算机技术也在检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。

我们都知道，旋转机械的不平衡是引起振动的常见原因之一，由此产生的振动力取决于旋转速度以及不平衡的程度。而在高速旋转的机械中，不平衡则是非常---的问题。尤其对转子速度---90000rpm（1500rpm/sec）的涡轮分子泵而言，对于动平衡品质的要求---，哪怕是几毫克范围内轻微的不平衡，都会对泵的运行产生重大影响。因此，涡轮分子泵的转子需要做精密的动平衡，ulvacym-rl-1202a干式机组，品---的动平衡既关系到转子的平稳运行，也关系到涡轮分子泵的磨损，还可---将传递到真空腔室和用户应用系统上的振动降至很低。

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高度---的新型涡轮分子泵：安全、---、抗老化、体积小巧

在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可---始终发挥很佳性能，保障其---运行安全性。在轴承方面，的复合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且---的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固---的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高---性。

泵运转时震动和噪音大

1.转子动平衡不好；

重新进行转子动平衡；

2.轴承润滑不好或轴承损坏；

检查并修复油路，或更换轴承；

3.前级压力过高；

降低前级压力；

4.泵安放位置不正确。

按照使用说明书正确安装。

涡轮分子泵系统常见故障及排除

故障

原 因

排除方法

---真空度低

1.前级泵不匹配，抽气量不足；

重新选配合适的前级泵；

2.系统漏气；

查出并消除漏处；

3.泵体出气。

对泵体进行烘烤除气，烘烤温度不应高于150℃。

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