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国内在90年代也有人研制了石英真空计,所用电路是以晶振本身为频率控制元件的自振荡,自---电路。测量范围为0.1pa~2×105pa。 很近我们研制的dl-10a型石英真空计采用fc135晶振,测量范围为5×10-1~105pa。目前已有石英真空计产品,
例如:cc-10真空计测量范围是1.33×10-2pa到---压,m-320xg晶振真空计测量范围是1x10-1pa到---压,dl-10a型石英真空计测量范围是5x10-1pa到---压。其优点为:传感器体积小,耗电功率小(约1w),精度较高(约10%),量程较宽(10-1~105pa)等。
part 01工作原理
石英晶振在谐振时,其谐振频率或谐振阻抗均与周围气体压强有关,二者均可用来测量压强。用谐振频率与压强有关的特性做真空计精度高,但测量范围较窄,它可以用作标准真空计或应用于要---度高的真空测量领域。用谐振阻抗与压强有关的真空计测量范围较宽,可达0.1-105pa,适合做工作用真空计。晶振在谐振时,同时自身也存在机械振动,振动时将受气体阻力,英福康真空泵维修养护,阻力的大小与气体压强有关,因而晶振的电学阻抗也与气体压强有关。
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热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计,白云区英福康真空泵,其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取,因而,经常在规范自然环境情况下,用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。在一定的加温电流量情况下,适用dl-3型规管的热偶真空计对干躁气体的校准曲线如下图4-9和图4-10所显示。
dl-3型热偶真空计的校准曲线(10~10-1pa)图4-10dl-3型热偶真空计的校准曲线(102~10pa)由图4-10可以看出,当工作压力从0.1mpa逐渐逐步减少(图上未画出)的一段工作压力区域内,热偶电势差e一直在零值周边,其---原因是气体分子结构多,传输走的卡路里多,因此热丝温度低,英福康真空泵养护维修,热偶电势差e亦低,并且这时(λ≤r1)导热与工作压力不相干,故热偶电势差e不转变(小量转变是气体热对流造成的)。
当气体压力至102pa时,热偶电势差e逐渐扩大,这也是因为这时气体传输走的---量降低,热丝温度已上升。当工作压力p再次下降时,热偶电势差再次扩大,可是愈来愈迟缓,很后趋向一定值。自此,p再减少,e---转变,即热偶真空计已做到其准确测量限,这一限为其准确测量低值,约为10-1pa。为了---地应用上的便捷,通常依照p—e校准曲线将微伏计的标尺改为真空值。用那样标尺的真空计准确测量时,可立即读取真空值,从此不用依据测定的p-e校准曲线查被测真空值。
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真空计的分类及原理
真空计(vacuumgauge),又称真空规,英福康真空泵维修与保养,是测量真空度或气压的仪器。一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能,利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(bourdon)和薄膜电容规;利用气体力学效应的典型真空计有皮拉尼(pirani)电阻规和电热偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
1、波尔登规(bourdon)2、薄膜电容规3、皮拉尼规4、热电偶规5、热阴极电离规6、冷阴极电离规
真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示,气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。
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