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分子泵的电机转子叶片务必具备与气体分子速率相仿的角速度。具备那样的高速运行才可以使气体分子与动叶片相碰撞后更改任意透射的特点而作定向运动。
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真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。如果出现工艺过程不允许的情况,应选择无振动的泵或者采取防振动措施,防止真空泵在工作时振动对环境的影响。
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