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磁悬浮分子泵的基本原理是利用磁轴承产生电磁力使转轴处于无接触的悬浮状态,其悬浮状态的获得需要以转轴位置为基准实施磁轴承输出电磁力的控制.
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真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。
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