爱发科二手泵cryo-u22h-广州潽拓光电科技

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实验与分析---质谱检漏仪工作在不同的分子泵转速下，在仪器的检漏口连接标漏信号，检测---质谱检漏仪在不同分子泵转速下，所获得的信号值。

实验器材：

(1)---质谱检漏仪sfj-231，1台；

(2)渗---型标准漏孔（3.0×10-10pa.m3/s)，1只；

(3)渗---型标准漏孔（1.5×10-pa.m/s)，1只；

(4)标准漏孔tl4-6，1只。

实验步骤：

(1)开启---质谱检漏仪；

(2)仪器进入检漏状态运行2h后；

(3)仪器按下停止键，仪器进入待机状态(4)进入仪器的参数设置，爱发科二手泵cryo-u22h，将分子泵的转速设定为1500hz；

(5)待仪器进入待机状态

(6)将渗---型标准漏孔(3.0×100pa.mys)连接在检漏口；

(7)检漏仪按开始键，检测仪器的显示值，并记录；

(8)仪器按下停止键后按下开始键，再次检测仪器的显示值，爱发科二手泵utm2300fw，共记录3次数据(9)仪器在待机状态，进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1000hz；

(10)重复7、8步骤；

(11)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500hz；

(12)在仪器检漏口连接渗---型标准漏孔(1.5x10*pa.ms)1只；

(13)重复7、8、9、10步骤(14)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500hz；

(15)在仪器检漏口连接标准漏孔tl4-6(16)重复7、8、9、10步骤。

(16)重复7、8、9、10步骤。

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典型涡轮分子泵抽气系统涡轮分子泵抽气系统一般不需要用常见的液氮冷阱来阻止轴承润滑油或机械泵泵液的返流只要泵是以额定角速度旋转，那么泵对除很轻的气体氢以外的所有气体都具有比较高的压缩比，---阻止这些气体从前级管道端返流到高真空端液氮冷却的表面不能捕集因压缩比低而返流到真空室的少量的氢液氮冷阱可用来提高系统对水蒸气的抽速，

其---的安装位置是在高真空阀的后面，也就是直接设置在涡轮分子泵的喉部上方还可以考虑在高真空阀后面装一个三通管，把涡轮分子泵接在它的一个接口上，而把液氮冷却的表面接在另一个接口上而三通的任何两个接口之间的流导都要小于液氮冷阱的通导然而要使分子泵对水蒸气和空气都具有很大抽速，很佳的安排还是将液氮冷阱安装在涡轮分子泵和高真空阀门之间。

涡轮分子泵抽气系统既不需要用粗抽阱也不需要用前级管道冷阱粗抽与主抽系统之间较高的切换压力能防止机械泵油通过粗抽管道迁移到真空室中去，而泵对碳氢化物馏分的高压缩比也阻止它们从前级管道通过泵反扩散到真空室中去。

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