普发高真空分子泵冷却---价格合理_广州真空泵

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boc stp-ixa3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 stpixa3305 系列的新技术）。

boc stp-ixa3306分子泵的高度等于 stp-xa2703/xa3203 的高度，也等于boc stp-ixa3305 系列（不带其电源供给 (ips-1200)）的高度。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。

boc stp-ixa3306分子泵特性与优势：

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计，包括完全集成的控制器

性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

boc stp-ixa3306分子泵用途：

溅射

离子注入源，射束线泵送和站

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、---物）

电子回旋共振 (ecr) 刻蚀

薄膜沉积 cvd、pecvd、ecrcvd、mocvd

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