萝岗区安捷伦分子泵控制器-广州潽拓光电公司

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵控制器

分子泵市场

　　分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。

　　由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，萝岗区安捷伦分子泵控制器，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又---了膜层。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

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油池安装注意事项　　、拆油

　　、油量控制

　　、油池卫生，防颗粒

　　、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

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安捷伦真空：分子泵使用中的注意事项：

分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

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安捷伦提供tps mini紧凑型、tps flexy自由组合式、tps compact便携式、tps bench台式、tps mobile可移动式5种分子泵机组，形式多样，可根据客户应用和需求进行选择。前级泵分油式和干式两类，前级油封旋片泵的抽速范围从1.8-20.5m3/h，前级干泵提供的抽速范围从0.6-30m3/h，---的满足了不同客户的应用需求。配置的frg700全量程主动式真空计为皮拉尼和冷阴极组合式真空计，测量范围从---至5*10-9mabr，满足了一测量真空的应用需求，简单方便。多功能，快速变化的样品架，可以测量固体、薄 膜、粉末以及液体样品。

安捷伦扩散泵特点用冷却水少，对冷却水温度要求不高与普通的扩散泵相比，同样规格的泵，安捷伦扩散泵仅需要50%甚至---的冷却水流量。而且，安捷伦扩散泵对冷却水的温度要求不高，只要---排放温度不高于54度即可，当水压较低排水温度高于54度时，还可以采用将冷却水管并联的方式扩展使用区间。