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“该系列涡轮分子泵具有理想的尺寸功率比。350和450是300至700l/s吸力级别中结构紧凑的大功率涡轮分子泵,针对小分子气体具有的抽吸能力。”真空涡轮分子泵产品经理说道。内置的驱动电子设备在不增加体积尺寸的情况下,提供了包括profinet和ethercat在内的大量通讯接口。通过遥控和传感器元件可以对泵数据进行分析,实现在运行过程中进行理想的工艺监控。
它的运行噪音低,气体流量大,为真空行业树立了新的标准。该系列的各款泵均已获得semis2、ul、csa和nema12。此外,该系列各款泵均可以在客户现场进行轴承维护和轴承更换,并且均可免维护运行4年。磁场环境对分子泵运行的影响:许多设备在工作时都会产生磁场,比如,家用电冰箱的磁场强度约有10高斯(1mt),mri()的磁场强度甚至会---3t;
尽管可以采取屏蔽等措施,仍然可能会有外漏的杂散磁场,对工作在附近的分子泵产生不好的影响。磁场对涡轮分子泵的可能影响当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时,会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转,并导---机的功率增大。由于泵转子不与定子接触,涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此,转子可能会过热,即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。
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传统的动平衡技术通过增加额外的,例如动平衡配重块,来减少分布的不均匀。动平衡借助机械加工流程而得到广泛使用,其中包括诸如磨削以及通过钻孔去除材料等工艺。在传统的动平衡过程中,转子的径向偏移是在轴承附近的两个测量层测量的。转子的不平衡度利用一种特殊的算法来确定。为了降低总不平衡程度,转子沿旋转轴分成多个平衡等级,爱发科涡轮分子泵技术支持,每个等级都有相应的孔。
动平衡配重块沿着各平衡等级的圆周手动拧入。这样就降低了分布的不均匀,转子的剩余不平衡度被减少到所需的---值以下。这里的不平衡度将在多种速度下确定,并逐步完成补偿,从而降低转子的振动并达到额定速度。
近些年来,涡轮分子泵的应用场景越来越多,许多制造领域以前常用低温泵和扩散泵来作为真空泵,目前已多被涡轮分子泵所取代。此外,随着相关应用领域对工作环境的要求越发严苛,对涡轮分子泵也提出了更高要求,---是在次级特性方面。因此,高速转子一直需要进一步开发,包括转子的使用寿命、振动水平(即泵壳上发出的声响和振动),以及基于部件表面脱气性能方面的洁净度指标。
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真空互联装置需要在真空环境中进行,对真空度要求及其高,真空可达1e-10mbar,一般需要用前级泵,分子泵,离子泵,钛泵等组合使用来达到要求,涡轮分子泵需要低振动,低噪音,清洁无油---真空的稳定性以---晶格的生长和后期的探测分析.德国涡轮分子泵80,700,1200广泛应用于真空互联装置中!
真空互联系统会以arpes,stm,mbe,ups,xps的联用为主.下图为某研发生产各类高真空系统客户实例图:1.arpes角分辨光电子能谱,利用光电效应研究固体的电子结构,当一束光照射在样品表面,当入射光频率高于特定阈值(功函数)时,表面附近的电子会脱离样品,成为自由电子,这就是光电效应.光电子在真空飞行的过程中,被一个接受角度很小的能量分析器收集计数.
某光源arpes光束线真空系统,真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分,只有在真空环境中运行,光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站,真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度,---光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80,及配套真空规。
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