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广州潽拓光电——
德国 pfeiffer vacuum 普发真空
分子泵 hipace 80/tmh 071 系列的工作原理
设计/工作原理
普发真空于 1958 年由 w. becker 博士开发涡轮分子泵并获 得。涡轮分子泵属于动能
真空泵的范畴。它们的设计类 似于涡轮机的设计。多级、具有叶盘的涡轮状转子在壳体内 旋
转。涡轮机或压缩机的叶片被统称为叶片装置。转子盘之 间插入的倒置镜是具有类似几何
形状的叶片定子盘。
轴承
通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都 安排在前真空侧,因为轴承中
有润滑剂。这导致转子凭借其 较大产生的单边(悬臂)支撑
电动机/驱动器
能够提供旋转频率--- 1,pfeiffer二手真空泵服务,500 hz (90,000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶
片速度是泵送气体所必需的。
如今,驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电,通过外部电源
包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流
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