agilent真空泵维护保养-潽拓光电

广州潽拓光电科技有限公司——agilent真空泵分子泵安装维修注意事项

电缆安装注意事项

　　、对正槽口插入

　　、用螺母拧紧，边插边拧

　　、检查---

振动隔离、冲击防护

　　1分子泵振动，可直接接于被抽系统。

　　对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便可能的减少振动。

　　2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑

　　机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

　　气体振动（气量突变、压强突变）

　　意外振动（掉入异物、碰撞等）

　　注意：没有对泵进行---防护，容易造成分子泵---的破坏、甚至碎泵。

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