pfeiffer二手真空泵维护-潽拓光电

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    2024-2-13

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广州潽拓光电——bpg400 /bpg402 英福康inficon 

inficon皮拉尼复合真空计

产品型号:bpg400

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半导体工艺和输送室中的压强测量

工业镀膜

一般真空测量和控制,从低至真空范围


优点

极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至---压(3.8x10-10 乇至---压)

---的重复性,压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%

皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁

双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝

可选图形显示和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的---

容易更换具有在机校准的传感元件,---高度重复性




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广州潽拓光电——pfeiffer hipace80分子泵

分子泵应用一:hipace 80,hipace 400 用于分子束外延 mbe,主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。

分子泵应用二:hipace 80,hipace 300 用于specs 近常压光电子能谱仪设备

涡轮分子泵 hipace 80 技术参数:分子泵型号接口 dn抽速 l/s压缩比高启动压强mbar---压力全转速气体流量hpa l/s启动时间重量进气口排气口氮气

n2---气he氢气 h2氮气

n2氮气n2hpa氮气n2minkghipace 806316675848>; 1x101122< 1x10–71.31.752.4





分子泵应用:

分析仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析

半导体:pvd inspection bonding mbe load-locks

工业:医学技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造




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pfeiffer tcp380分子泵驱动器维修成功

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